潔凈室無塵室的等級區(qū)分
更新時間:2018-06-10
瀏覽次數(shù):1138
潔凈室無塵室的等級區(qū)分無塵布的適用范圍很廣,只有潔凈要求比較高的,都會用到,比如,LCD組裝,或是一些表面清潔等 無塵室根據潔凈程度不同分很多等級 目前各半導體加工和面板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多 數(shù)字越小,潔凈等級越高 1000級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過1000顆 100級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.3的灰塵顆粒不能超過100顆 注意了,每個等級所管控的顆粒大小也不一樣 依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。 無塵室等級,無塵室標準,無塵室標準定義